Il-magni tal-litografija EUV huma tagħmir kruċjali fil-manifattura moderna taċ-ċippa, u wieħed mis-subsistemi ewlenin tagħhom huwa l-laser - Sors tad-dawl tal-EUV fil-plażma (LPP). Preċedentement, is-suq globali għal dan is-sors kien jiddependi primarjament fuq lasers tas-CO2 manifatturati minn Cymer, kumpanija tal-Istati Uniti. Dawn il-lejżers jeċitaw il-plażma SN b'effiċjenza ta 'konverżjoni ta' enerġija (CE) li jaqbżu l-5%, u jservu bħala s-sors tad-dawl tas-sewqan għal magni tal-litografija ASML. L-ASML bħalissa huwa l-uniku manifattur tal-magni tal-litografija fid-dinja li kapaċi juża sorsi tad-dawl tal-EUV, u jżomm sehem tas-suq ta '100% f'dan il-qasam. Madankollu, minħabba kontrolli ta 'l-esportazzjoni imposti mid-Dipartiment tal-Kummerċ ta' l-Istati Uniti fuq iċ-Ċina, ASML u kumpaniji oħra ta 'ċippa ġew ipprojbiti milli jbigħu l-qtugħ ta' - Edge EUV Mudelli ta 'litografija liċ-Ċina mill-2019, li jxekklu ħafna l-iżvilupp tal-industrija taċ-ċippa taċ-Ċina.
Iżda r-riċerkaturi Ċiniżi ma kinux imneħħija. Wara snin ta 'xogħol iebes, it-tim ta' Lin Nan pijunier approċċ ġdid, bl-użu ta 'lasers solidi ta'- State pulsati minflok lasers CO2 bħala s-sors tad-dawl tas-sewqan. Bħalissa, l-1µm solidu tat-tim - Laser State kiseb effiċjenza massima ta 'konverżjoni ta' 3.42%. Filwaqt li għadu ma jaqbiżx l-4%, huwa jaqbeż il-prestazzjoni ta 'timijiet ta' riċerka fl-Olanda u l-Isvizzera u huwa nofs l-effiċjenza ta 'konverżjoni ta' 5.5% ta 'sorsi ta' dawl kummerċjali. Ir-riċerkaturi jistmaw li l-effiċjenza teoretika tal-konverżjoni massima tal-pjattaforma sperimentali tas-sors tad-dawl tista 'tersaq lejn 6%, b'potenzjal għal aktar titjib fil-futur. Ir-riżultati ta 'riċerka rilevanti ġew ippubblikati riċentement fuq il-qoxra tal-ħarġa tal-2025 tar-rivista Laser China, Ħarġa 6 (tard ta' Marzu).
Lin Nan, l-awtur korrispondenti ta 'dan id-dokument, jipprovdi appoġġ qawwi għal din il-kisba bl-isfond ta' riċerka u l-għarfien espert tiegħu. Bħalissa huwa riċerkatur u superviżur tad-dottorat fl-Istitut ta 'l-Ottika ta' Shanghai u l-Mekkanika ta 'Preċiżjoni, Akkademja Ċiniża tax-Xjenzi, ta' livell nazzjonali ta 'l-Oversea Mikro - Kumitat Nano tas-Soċjetà Ċiniża ta 'l-Inġinerija Ottika. Lin Nan qabel ħadem bħala xjenzat tar-riċerka u mbagħad bħala l-kap tat-teknoloġija tas-sors tad-dawl fid-dipartiment tal-R & D fl-ASML fl-Olanda. Huwa għandu aktar minn għaxar snin ta 'esperjenza fir-riċerka, l-iżvilupp tal-proġett ta' inġinerija, u l-immaniġġjar ta 'tagħmir kbir ta' manifattura u kejl ta 'ċirkwiti integrati fuq skala kbira ta' -. Huwa applika għal u ngħata aktar minn 110 brevett internazzjonali fl-Istati Uniti, il-Ġappun, il-Korea t'Isfel, u pajjiżi oħra, li ħafna minnhom ġew kummerċjalizzati u inkorporati fl-aħħar magni tal-litografija u tagħmir tal-metroloġija. Huwa ggradwa mill-Università ta 'Lund fl-Iżvezja, fejn studja taħt ir-rebbieħa tal-Premju Nobel fl-2023 fil-fiżika Anne L'Huillier. Irċieva wkoll grad ta 'dottorat konġunt minn Pariġi - Saclay University u l-Aġenzija tal-Enerġija Atomika Franċiża, u mexxa riċerka postdoctoral fl-ETH Zurich fl-Isvizzera.
Fi Frar ta 'din is-sena, it-tim ta' Lin Nan ippubblika karta ta 'kopertura fit-tielet ħarġa tal-ġurnal "Progress in Lasers and Optoelectronics", li pproponiet skema ta' ġenerazzjoni effiċjenti tad-dawl ultravjola estrema bbażata fuq il-plażma tal-laser ristretta spazjalment, li tista 'tintuża għal kejl ta' l-għotja għolja ta 'node. L-iskema kisbet effiċjenza ta 'konverżjoni sa 52.5%, li hija l-ogħla effiċjenza ta' konverżjoni rrappurtata fil-medda ultravjola estrema sal-lum. Meta mqabbel ma 'l-ogħla livell kummerċjali - Ordni ta' sors ta 'dawl armoniku, l-effiċjenza ta' konverżjoni hija mtejba b'madwar 6 ordnijiet ta 'kobor, li tipprovdi aktar appoġġ tekniku ġdid għal-livell ta' kejl tal-litografija domestika.
Il-laser tal-istat solidu- - ibbażat fuq il-pjattaforma żviluppata mit-tim ta 'Lin Nan hija distinta mit-teknoloġija mmexxija mis-CO2 - użata fit-tagħmir tal-litografija industrijali tal-ASML. Il-karta tiddikjara, "Anke b'effiċjenza ta 'konverżjoni ta' 3% biss, solidu - Laser State - LPP LPP -}} EUV Sorsi jistgħu jwasslu watt - livell ta 'enerġija, li jagħmluhom adattati għall-verifika tal-espożizzjoni tal-EUV u l-ispezzjoni tal-maskra." B'kuntrast, il-lejżers tas-CO2 kummerċjali, filwaqt li l-qawwa għolja -, huma goffi, għandhom electro - effiċjenza ta 'konverżjoni ottika (inqas minn 5%), u jġorru spejjeż għoljin ta' tħaddim u enerġija. Min-naħa l-oħra {- Lejżers pulsati mill-istat, għamlu progress mgħaġġel matul l-aħħar għaxar snin, li bħalissa qed jilħqu l-outputs tal-enerġija fil-livell tal-kilowatt u huma mistennija jilħqu aktar minn 10 darbiet dak fil-futur.
Għalkemm ir-riċerka fuq solidu - Laser tal-Istat - sorsi EUV immexxija mill-plażma għadha fl-istadji sperimentali bikrija u għad trid tilħaq il-kummerċjalizzazzjoni sħiħa, ir-riżultati tar-riċerka tat-tim ta 'Lin Nan ipprovdew appoġġ tekniku importanti għall-iżvilupp domestiku ta' solidu - State Laser - mmexxi sorsi, u għandhom 'il bogħod - jilħqu sinifikat għar-riċerka u l-iżvilupp indipendenti taċ-Ċina tal-litografija tal-EUV u l-komponenti u t-teknoloġiji ewlenin tagħha.
Waqt it-telefonata tal-konferenza tal-investituri dan ix-xahar, l-ASML CFO Roger Dassen iddikjara li kien konxju tal-progress taċ-Ċina fit-teknoloġija ta 'sostituzzjoni tal-litografija u rrikonoxxa li ċ-Ċina għandha l-potenzjal li tipproduċi sorsi tad-dawl tal-EUV. Madankollu, huwa xorta jemmen li kien se jieħu ħafna snin biex iċ-Ċina tipproduċi tagħmir avvanzat tal-litografija tal-EUV. Madankollu, l-isforzi bla waqfien u l-avvanzi kontinwi tar-riċerkaturi Ċiniżi qegħdin jiksru gradwalment din l-aspettattiva. Fl-2024, l-ASML kisbet bejgħ nett ta '€ 28.263 biljun, sena - fuq - Żieda fis-sena ta' 2.55%, li waqqfet rekord ġdid. Iċ-Ċina saret l-akbar suq tagħha, b'bejgħ ta '€ 10.195 biljun, li jammonta għal 36.1% tad-dħul globali tagħha. Anke fil-kuntest ta 'kontrolli u tariffi ta' esportazzjoni semikondutturi attwali, ASML tistenna li l-bejgħ fiċ-Ċina jammonta għal ftit aktar minn 25% tad-dħul totali tagħha fl-2025. Iż-żieda tal-industrija taċ-ċippa taċ-Ċina hija bla waqfien.
