Kif nafu lkoll, hemm manifattur wieħed biss fid-dinja li jista 'jipproduċi litografija EUV, huwa l-ASML ta' l-Olanda.
Ir-raġuni għaliex hemm manifattur wieħed biss fid-dinja hija li ASML għaqqad ħafna manifatturi ewlenin flimkien, bħal Zeiss (Zeiss), kumpanija tal-ottika Ġermaniża, Cymer (USA), uTRUMPF (il-Ġermanja).
L-ASML rabat lil dawn il-manifatturi mal-karru tiegħu permezz ta' investiment, akkwist, ishma, twaqqif ta' ċentri ta' riċerka, eċċ, u dawn il-manifatturi, huma probabbilment l-uniċi manifatturi fid-dinja li jistgħu jipproduċu dawn il-prodotti, għalhekk fl-aħħar mill-aħħar l-ASML biss fid-dinja jistgħu tipproduċi litografija EUV.
Madankollu, reċentement, katina ta 'provvista ewlenija ta' ASML, daret lejn Shenzhen, iċ-Ċina biex tibni fabbrika, is-sussidjarja tagħha ta 'Shenzhen stabbilita fil-Park ta' Dimostrazzjoni Industrijali Sino-Ġermaniż (Ewropa) ta 'Baoan.
Dan il-manifattur huwa l-Grupp TRUMPF tal-Ġermanja (TRUMPF), huwa l-litografija EUV ta 'ASML, l-uniku fornitur tas-sors tal-laser fid-dinja.
Prodotti TRUMPF fil-litografija EUV, kemm huwa importanti? L-ewwel, isma 'li nispjega l-prinċipju tal-litografija EUV, tifhem.
Il-prinċipju tal-litografija EUV, biex ngħiduha sempliċiment, hija ċċentrata fuq tliet sistemi ewlenin, is-sistema tas-sors tad-dawl ultravjola EUV, is-sistema tal-mera oġġettiva, u s-sistema tal-mejda.
Il-proċess speċifiku huwa li tuża laser biex teċita wavelength ta '13.5nm ta' dawl ultravjola estrem, li mbagħad jiġi kkoreġut biex jifforma raġġ ta 'dawl ikkontrollat, li mbagħad jiġi pproġettat fuq mejda ta' fotomask qabel ma jiġi pproġettat minn mera oġġettiva fuq tabella ta 'espożizzjoni. u finalment inċiżi f'ċirkwit fuq wejfer tas-silikon miksi b'fotoreżist.
Kif waħda mis-sistemi tas-sors tad-dawl UV EUV tinkiseb billi tibbumbardja qtar tal-metall tal-landa (Sn) b'lejżer CO2 ta 'qawwa ta' 30 kW, jevaporaha fi plażma, u finalment tikseb dawl EUV f'tul ta 'mewġ ta' 13.5 nm.
Dan il-laser CO2 ta’ 30 kW huwa fornut minn TRUMPF, l-uniku wieħed fid-dinja.
M'għandekx tissottovaluta dan il-lejżer CO2, għandu 457,329 parti, it-tul tal-kejbil fis-sistema huwa sa 7,322 metru, u l-piż huwa 17,090 kg, li huwa wieħed mill-aktar komponenti ewlenin importanti fil-litografija EUV.
Issa TRUMPF dam lejn iċ-Ċina biex tibni fabbrika, l-intenzjoni hija ċara, jiġifieri, ottimista dwar is-suq tal-laser Ċiniż, u saħansitra aktar ħsieb fit-tul, ottimista dwar is-suq tal-litografija Ċiniża, il-futur jista 'jikkoopera maċ-Ċina biex tibni litografija EUV .
Fil-fatt, diġà hemm aktar minn katina tal-provvista ASML waħda li taħdem lejn iċ-Ċina biex tibni fabbrika, hemm KMWE u manifatturi oħra, ukoll lejn iċ-Ċina biex tibni fabbrika.
Skont it-tendenza attwali, nistgħu nistennew b'mod ottimist li jista 'ma jkunx twil qabel it-teknoloġija tal-litografija taċ-Ċina se tkun pass kbir 'il quddiem, u anke l-volum tal-litografija EUV tal-ħruġ, tista' wkoll tħares 'il quddiem, taħseb?
